低温闪蒸成膜仪 WD-VFE30C-P
简 述：
威德低温闪蒸成膜仪在灵巧型闪蒸成膜仪基础上，集成了一套可在-15℃至90℃范围内精确调控温度的载物盘，实现在真空闪蒸过程中调控钙钛矿的成核行为，有效拓宽后处理工艺的时间窗口，从而有助于制备高质量、大面积的钙钛矿薄膜。
产品型号：
- WD-VFE30C-P
威德 WD-VFE30C-P 产业型低温闪蒸成膜仪是在产业型闪蒸成膜仪基础上集成了一套可在‑15℃至90℃范围内精确调控温度的载物盘，实现在真空闪蒸过程中调控钙钛矿的成核行为，有效拓宽后处理工艺的时间窗口，从而有助于制备高质量、大面积的钙钛矿薄膜。
产品优势：
1.高质量成膜：气流导向抑制紊流，310×310mm大尺寸成膜，结晶致密均匀，缺陷密度大幅降低。
2.工艺窗口宽:精准低温控制延缓成核速度，为后续工序提供更充裕时间窗口，大幅提升工艺容错率。
3.温度均一性高:载物盘温度均匀，310×310mm幅面薄膜结晶、厚度一致，抑制咖啡环效应。
4.结晶质量优:可控低温助力中间相充分生长，晶粒大、缺陷少，提升器件本征稳定性。
5.量产衔接快:大尺寸处理能力精准模拟量产条件，降低工艺放大风险，加速技术实验室走向产业化。
6.标配:抽气速度可控模块。
产品参数：
产品型号：WD‑VFE30C‑P
整机尺寸：约430mm(W)×440(D)×370mm(H)
整机重量：约38Kg
电源输入：AC220V，300W
电源输入：AC220V，300W
真空腔体：304不锈钢+铝氧化处理，带视窗
真空检测：皮拉尼真空计
基片尺寸：310*310mm以内基片，最大可放置厚度 30mm样品
抽气速度：10s可达10Pa以下 极限真空：0.1Pa
样品台大小：310×310mm
抽气接口：设备后部KF40接口，抽速可控
进气接口：氮气或空气自动破空，6mm快插接口
操作系统：5寸彩色触摸屏，支持快抽/恒压模式
低温恒温循环器 WD‑CTC‑2010
温度波动度：±0.1℃
槽容积：6L
电源：AC220V，功率1.4kW
尺寸：305mm (L）×465mm(W)×510mm(H)
真空泵 鲍斯真空 DRV90
抽气速率：90m3/h
电源：AC380V，功率 2.2kW
尺寸（D*W*H）：约832×256×384mm
重量：约91Kg
排气装置：配备尾排支架及软管
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