手套箱蒸发镀膜系统WD-EDI400-GB

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简　　述：

威德 WD‑EDI400‑GB 手套箱蒸发镀膜系统面向钙钛矿、OLED、锂电池、量子点LED、OPV 等光电器件研发；集成电阻/有机束源炉蒸发，可制备纳米金属、氧化物、氮化物、有机薄膜；与手套箱无缝对接，无水无氧连续镀膜，适配高校及企业研发。

产品型号：

保修/维修/计量校准

产品特点
1.手套箱无缝互联：前滑动开门结构与手轮压紧设计，杜绝空气渗漏，实现无水无氧环境下蒸镀全流程连续操作。

2.双模式蒸发源配置：金属源兼容蒸发舟、螺旋丝；有机源采用源炉结构PID控温精度±1℃，满足金属电极及C60、NPB等有机材料精确蒸镀。

3.样品价灵活可调：0‑30RPM 旋转，源基距连续可调，搭载100×100mm 掩膜样品盘，600℃红外加热，多层薄膜原位沉积。

4.超高真空环境：不锈钢腔体内壁电抛光，1200L/s分子泵，极限真空优于6×10E⁻⁵Pa，有效保证薄膜纯度与界面质量。

5.高精度膜厚监控：石英晶振膜厚仪实时监测，镀膜均匀性优于±4%，重复性优于±5%，满足纳米级薄膜精准制备需求。

6.全自动控制与多重保护：触摸屏+PLC一键式操作，硬件/软件双重互锁及水流报警，保障设备与人员安全。

产品参数

真空腔体：304L不锈钢方形真空室400X400X450mm，内电解抛光;前后开门，前门对接手套箱，配DN100观察窗及不锈钢多片内村。

真空性能：极限真空≥6X10E⁻⁵Pa(手套箱环境，抽气≥12h)大气抽至5X10E⁻⁴Pa<25min，整体漏率优于5X10E⁻¹Pa·m2/s。

抽气系统：主泵KYKY1200L/s分子机械泵前级:配置气配置气动高真空闸阀、粗抽阀、前级阀、放气阀。

蒸发系统(数量可依工艺调整）：4组蒸发源;2套金属源、2套有机源;带气动挡板，有机源PID控温1°C，配数字直流蒸发电源。

样品架系统：样品最大100X100mm(掩膜版);0-30RPM、源基距250-320mm可调，600°C红外加热，配气动挡板。

膜厚控制：配备石英晶振膜厚仪及水冷探头

镀膜性能：片内均匀性优于士4%，镀膜重复性优于士5%

控制系统：软硬件双重互锁，带水流检测报警触摸屏+PLC控制，支持一键抽真空、一键关机;