中型6寸匀胶机
简 述:
WD-TSC200T中型6寸可编程匀胶机,采用分体式结构设计,亚克力透明内腔,7英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,操作简便。内腔可直接取来,方便清洗。
产品型号:
- WD-TSC200T
性能参数:
适用晶元尺寸范围:Ø10~150mm
旋涂速度:100~10000rpm
转速分辨率:1rpm
旋涂加速度:100-5000rpm/s
最大旋涂时间:3000s
旋涂时间精度:0.1s
可存储多种不同基片的旋转涂敷工艺参数,每个涂敷工艺流程可以设置多步不同的旋转速度
腔体尺寸:Ø270*280*65mm
重量:12KG
配置:标配吸盘一组(10、25、50、100)mm、无油真空泵一台
产品特点:
亚克力透明旋涂内腔,美观;可选PP和PTFE
采用分体式结构,易清洁和移动;
7英寸彩色触屏控制,易学易用;
精确设置实验参数,运行状态实时显示;
采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;
具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;