WD-ISC50真空离子溅射仪
简 述:
WD-ISC50真空离子溅射仪是根据磁控直流溅射原理设计而成,具有操作简单、稳定性强,经济耐用等优点,对比与常规二级溅射效率更高,适用溅射靶材种类更多。
产品型号:
- WD-ISC50
设备由以下几部分组成:真空腔体、上盖组件、固定在上盖上的阴极靶及放气阀、样品台、真空泵及阀门、真空计及其他电气组件。本设备配有触摸屏及PLC控制,工作气体可通过微调阀进去真空腔体,结构紧凑,操作方便。特别适用于电镜实验室的SEM样品制备和新材料研究的电极制备。
本系统采用触摸屏全自动一键式启动,规格说明如下:
1、靶材:各类金属靶材,直径50.8mm厚度0.1mm;
2、真空室:直径150mm,高度140mm;
3、溅射面积:50mm;
4、真空计:数字式真空计;
5、数字式电流显示:最大150mA;
6、定时器:0~99秒可设置;
7、微调阀:配6mm接管;
8、机械泵:2L/S;