方舱等离子系列清洗机WD-PLM340
简 述：
威德 WD-PLM340 方舱等离子系列清洗机是一款功能强大的桌面型真空等离子表面处理系统，专为高校科研、企业实验室及小批量精密生产场景而设计。设备采用304不锈钢真空方舱结构，有效处理面积达260×260mm。系统集成了高精度射频电源、质量流量计与全自动触摸屏操控模块，具备等离子清洗、表面活化、刻蚀、疏水/亲水改性等几乎全功能的等离子体处理能力。
产品型号：
- WD-PLM340
威德 WD-PLM340 方舱等离子系列清洗机是一款功能强大的桌面型真空等离子表面处理系统，专为高校科研、企业实验室及小批量精密生产场景而设计。设备采用304不锈钢真空方舱结构，有效处理面积达260×260mm。系统集成了高精度射频电源、质量流量计与全自动触摸屏操控模块，具备等离子清洗、表面活化、刻蚀、疏水/亲水改性等几乎全功能的等离子体处理能力。
产品特点
1. 大尺寸方舱：腔体 340×340×250mm，有效清洗区300×300mm，适配矩形基板/多片小样同载。
1. 大尺寸方舱：腔体 340×340×250mm，有效清洗区300×300mm，适配矩形基板/多片小样同载。
2. 射频电源，功率精准可调：0~300W数显可调射频电源，输出功率连续可调，等离子体密度稳定可控，确保不同批次处理效果一致。
3. 真空度高，泵组选配：极限真空9×10-1Pa，标配双级旋片泵，可选涡旋干泵，快速建真空。
4. 质量流量计精准控气：MFC精准控气，配排空阀，精确进气 + 快速排气。
5. 全自动触摸屏控制，一键标准化运行：PLC+ 触控全自动，参数可预设，一键工艺循环，实时显状态。
6.按需求定制方舱大小。
产品参数
设备型号：WD-PLM340
设备型号：WD-PLM340
设腔体材质:304不锈钢，真空方形腔体（方舱）
腔体内部尺寸:长340mm×宽340mm×高250mm
有效清洗区域:300mm×300mm
极限真空度:9×10-1Pa（标配双级旋片真空泵；可选配涡旋干泵）
真空泵参数:抽气速度4L/s
真空系统组件:真空专用电磁角阀、充气阀、不锈钢真空波纹管、高精度数字式真空计、专用规管
射频电源:功率0~300W，数显连续可调
充气系统:高精度质量流量计（MFC）一台及排空阀一套
控制系统:PLC核心+触摸屏全自动控制
显示功能:实时显示真空度、功率、处理时间、工艺状态等
工作电压:AC220V
适用基材:金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等各种几何形状与表面粗糙度物件
400-880-3713
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