桌面小型等离子清洗机
简 述：
等离子体清洗机由真空腔体及等离子电源、抽真空系统、充气系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度，再在等离子电源作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。
产品型号：
- WD-PLM500
WD-PLM500系列等离子清洗机，外观大方简洁，质量可靠，性能稳定，
广泛应用于纳米材料学，半导体，微电子，光学，电子学，医药学，环境学，微流控生物学，LED，石墨烯等不同领域。
主要用于以下实验：表面清洁、表面活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、器械的消毒、去除表面有机物、疏水实验、镀膜.
产品特点：
1. 5寸彩色触摸屏操作界面，采用45°倾斜角度设计，符合人体工程学，操作简单友好。
2. PLC自动监测控制工艺参数，参数可存储，手动、自动两种模式任意切换。
3. 舱门，流量计内凹式设计，防止不小心磕碰损坏。
4. 松下高精度数字真空压力表，实时检测显示舱体内真实真空度，提供论文真实数据。
5. 气体浮子流量计（可选质量流量计（MFC）），可对多种气体精准控制。
6. 不锈钢或石英真空舱体可选，舱体管路采用耐腐蚀材料。
7. 进气端口，气体返填端口均配有HEPA高效过滤器，有效过滤空气中污染颗粒及水分。
8. 真空泵配有油雾过滤器，可有效隔绝油气溢散，保护实验环境。
9. 使用成本低，无需进行特殊维护，日常使用中保持仪器清洁即可。
10. 具备优良的安全保护措施，射频模块温度异常升高时，自动关闭电源，保护样品，提高设备安全性和稳定性。
技术参数:
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型号 |
WD-PLM500IFS |
WD-PLM500RFS |
WD-PLM500IFD |
WD-PLM500RFD |
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射频电源 |
40KHZ |
13.56MHZ |
40KHZ |
13.56MHZ |
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射频电源功率 |
0-200W |
0-150W |
0-200W |
0-150W |
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匹配器 |
无 |
自动匹配 |
无 |
自动匹配 |
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激发方式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
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舱体容积 |
5L |
5L |
5L |
5L |
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舱体尺寸 |
D245mm*ø155mm |
D245mm*ø155mm |
D245mm*ø155mm |
D245mm*ø155mm |
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舱体材质 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
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载物板尺寸 |
L245mm*W155mm |
L245mm*W155mm |
L245mm*W155mm |
L245mm*W155mm |
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HEPA高效过滤器 |
最小过滤0.22um |
最小过滤0.22um |
最小过滤0.22um |
最小过滤0.22um |
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气体控制 |
单浮子流量计可选质量流量计 |
单浮子流量计可选质量流量计 |
双浮子流量计可选质量流量计 |
双浮子流量计可选质量流量计 |
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气体压力稳定时间 |
60s |
60s |
60s |
60s |
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工作时间设定 |
1秒-99分59秒可调 |
1秒-99分59秒可调 |
1秒-99分59秒可调 |
1秒-99分59秒可调 |
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真空度 |
100par |
100par |
100par |
100par |
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真空泵 |
抽速8m³/h |
抽速8m³/h |
抽速8m³/h |
抽速8m³/h |
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电源 |
AC220v5060HZ |
AC220v5060HZ |
AC220v5060HZ |
AC220v5060HZ |
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产品尺寸 |
L41*W38*H50cm |
L41*W38*H50cm |
L41*W38*H50cm |
L41*W38*H50cm |
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包装尺寸 |
L49*W46*H58cm |
L49*W46*H58cm |
L49*W46*H58cm |
L49*W46*H58cm |
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整机净重 |
18kg |
32kg |
18kg |
32kg |
400-880-3713
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