大型专业8寸半自动匀胶机
简 述：
WD-TSC280TD 大型专业8寸半自动匀胶机用于硅片等表面涂布工艺生产，将基材涂上一层特定的光刻胶、感光涂料或油墨， 取出后在进行后道烘干工艺。
产品型号：
- WD-TSC280TD
产品特点：
1. 7寸触屏+进口电机和PLC控制，操作方便，质量稳定；
2. 整机采用镜面不锈钢外壳，标准半导体洁净室装配，环保且用料扎实、机身重量更重、 电机功率更大、有效保障运行过程中平稳几乎无震动
3. 吸盘平整度精细加工平磨，吸盘表面平坦度 10um 以内。配合精密数控机床精加工电机轴，均匀性更好；
4. 电气元器件独立集成在机身侧面，有效避免因腔体漏液渗到设备内部导致短路风险；
5. 配置光胶过滤器和废液桶，清洗保养更方便，及时清理避免堵胶带来飞片风险；
6. 有真空负压数值显示和低真空报警装置，有效提醒因负压不足带来飞片风险；
7. 针筒式滴胶节省溶液、无气泡、易清洁、无漏液。
参数：
1.适用基板尺寸: 6、 8英寸晶圆
2.操作界面: 7 寸全彩触摸屏
3.可存储50组配方，段数设定:每一配方模块均设 20 段数，每一段数均可设 定加速度、减速度及时间控制
4.腔室材质为PTFE
吸盘材质为铝制吸盘阳极硬化处理
5.马达转速 : Max.20~10000rpm
马达功率：750W
马达转速精确度 : ±1rpm
旋涂加速度 : Max1,0000rpm/sec
旋涂减速度：Max1,0000rpm/sec
6.滴胶系统：供液容器:美式针筒一路
供液方式: 压力方式, 自动供液
供液压力范围: 0.1~0.5 MPa
针筒容量:100ml
7.设备尺寸：650mm*500mm*400mm
400-880-3713
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