大型专业8寸匀胶机
简 述:
WD-TSC280T适用于旋涂8寸晶圆,本体为镜面不锈钢板,腔体材质:PTFE耐腐蚀易维护,旋转主轴采用SUJ-2 轴承钢,400W电机功率,有效保障运行过程中平稳几乎无震动;匀胶均匀性可达1%。
产品型号:
- WD-TSC280T
特点:
1.7寸触屏+进口电机操作方便,质量更稳定
2.吸盘平整度精细加工平磨,均匀性更好,可达1%以内
3.电气元器件独立集成在机身侧面空间,有效避免因腔体漏液渗到设备内部导致短路风险
4.配置光胶过滤器和废液桶,清洗保养更方便,及时清理避免堵胶带来飞片风险
5.有真空负压数值显示和低真空报警装置,有效提醒因负压不足带来飞片风险
6.提供工艺支持,避免购买不适宜产品带来损失风险
参数:
型号 |
WD-TSC- 280T |
适用晶元尺寸范围 |
Up to Ф200mm |
腔体直径 |
280mm |
转速 |
20~10000RPM |
转速精度 |
±1RPM |
旋转加速度 |
≤10000RPM/S |
最大旋涂时间 |
1-999.9S |
控制方式 |
7寸触屏+PLC |
滴胶方式 |
手动 |
电机功率 |
400W |
控制程序 |
50组20 段,每一段数均可设定加速度及时间控制 |