怎么正确选择匀胶机
选购匀胶机的注意事项
一般而言,选择适合自己需求的匀胶机需要考虑两个方面:一是实验应用需求,二是匀胶机的技术规格。
1)确定处理的基板尺寸和类型:常见的基板尺寸有 2 英寸至 12 英寸不等,同时,不同材质的基板,如硅片、玻璃、塑料等,对涂覆工艺的要求也有所不同,要确保匀胶机适用于所需处理的基板材质。
Wisdom威德®TSC系列匀胶机各型号适用晶圆尺寸可从φ5mm到φ300mm,任您选择。
腔体直径最大450mm,可以容纳绝大多数的晶圆及电子器件。
2)明确需要涂覆的材料及涂层厚度:不同的涂覆材料,其粘度等性质各异,例如光刻胶、绝缘材料、光学薄膜材料等,对应的匀胶机性能要求也不同。此外,还需确定所需的涂层厚度范围及均匀性要求。一般来说,高精度的应用要求涂覆均匀性误差在 ±5% 以内。 Wisdom威德®TSC系列匀胶机最高精度可以控制到误差1%
Wisdom威德®TSC系列匀胶机用户实测数据反馈
二、技术规格需求
匀胶机最重要的是涂布的均匀性,在选购匀胶机时,重点考虑以下四个技术参数:
1)转速范围和精度:匀胶机的转速范围通常在 500 至 8000 RPM 之间,不同的涂覆工艺需要不同的旋转速度。转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性,例如在制备超薄薄膜时,可能需要较高的转速。
2)旋转稳定性:匀胶过程中的稳定性对于确保涂层的均匀性至关重要,要选择振动小、噪音低、运行平稳的型号,以保证在高速旋转时,胶液能够均匀地铺展在基板上。
3)加速度性能:较快的加速速率有助于快速达到所需的旋转速度,对于一些粘度较高的胶液,需要较大的加速度才能使其均匀涂布。例如在处理厚光刻胶时,合适的加速度可以确保胶液在短时间内达到均匀分布。
4)程序控制功能:现代匀胶机通常具备可编程功能,能够设置多个步骤的旋转速度、加速度和时间,这对于实现复杂涂层工艺的自动化、提高重复性和效率非常重要。具有用户友好界面的匀胶机在操作上更加便捷。
单步快速旋涂操作界面

Wisdom威德®TSC系列匀胶机采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂;多步编程旋涂可编程10组程序,每组程序5步;运行参数如转速、转动时间可实时显示。